本页内容：行业挑战 • 摘要 • 特性和优势 • 元器件 • 主要技术指标 • 相关安捷伦产品
B2201A 可自动执行表征测试，从而降低测试成本，对半导体参数分析仪的测量性能只有轻微影响。它支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表，并可在未来进行扩展。此外，它还具有 14 路输入，每路输入都使用唯一的内部测量路径，其中两路输入还具有特殊的电容测量补偿特性。它还支持脉冲发生器等仪器。用户可使用键盘或可选光笔通过前面板进行操控。
行业挑战
对半导体晶圆上的众多测试结构进行所有必要的参数测量，可能需要耗费大量时间和成本。随着最终用户设备的成本持续下降，甚至实验室表征环境也必须降低测试成本。使用包含半自动或全自动晶圆探头的开关矩阵，可以自动执行表征测试，在每次测试新模块时也无需操作人员手动复位探头。这样既缩短测试时间，又节省测试成本。
许多现有的开关矩阵都有内在的局限性。例如，许多开关矩阵会降低半导体参数分析仪的低电流测量性能，成为测量链中最薄弱的环节。如果内部路径数量不足，那么开关矩阵就无法支持 4 终端完全 Kelvin 测量和电容表，而且每次将测量从 IV 变成 CV 时都需要花很长时间手动改变电缆连接。最后，如果开关矩阵不能对电容测量结果进行补偿，以消除因路径长度而产生的测量失真，那么这些测量结果也将会是不准确的。
摘要
出色的开关矩阵性能，适中的价格
B2201A 14 通道低泄漏开关主机提供出色的低电流泄漏和电容测量性能，没有其他替代解决方案所具有的限制。能够支持 10 fA 测量，意味着它不会严重降低半导体参数分析仪的高性能。它的价格适中，可以为要求不是特别苛刻的测量环境提供经济高效的测量性能。输入数量足够多，则可以支持4-SMU 完全 Kelvin 配置。所有 14 路输入对应唯一的内部路径，因此可以同时使用。与其他同类解决方案不同，它可以避免每个通道的路径长度不同所产生的固有误差，确保电容测量结果不会出现失真；此外，系统提供了必要的参数和算法来补偿这些差异。它的模块化结构支持 12、24、36 或 48 路输出配置，使用起来具有极大的灵活性。30 MHz 带宽使它可以使用脉冲发生器等仪器。附加的 LED 显示屏和使用键盘或可选光笔进行操控的前面板，使操作人员可以非常灵活地进行操作。
- 紧跟半导体参数分析仪性能的步伐
一流的半导体参数分析仪已经达到新的性能水平。B2201A 开关矩阵能够支持 10 fA 测量分辨率，紧跟半导体参数分析仪性能的步伐，而不会严重降低测量性能。
- 避免多路复用的测量限制
避免花费很长时间手动切换 B2201A 的 14 条内部测量路径，因而延误测量进度。每路输入都有自己的内部路径，可以同时工作，避免因为在共享路径上多路复用输入所带来的限制。
- 准确的电容测量
特别是在测量电容时，电缆长度（包括矩阵中的路径）对测量结果有很大影响。通过使用针对电容测量优化过的两路 BNC 输入，B2201A 开关矩阵主机――与同类解决方案不同――可以校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差，提供补偿参数以确保测量结果不失真。
特性和优势
| 特性 |
优势： |
| 10 毫微微安（femtoamp）分辨率的电流测量能力 |
开关矩阵不会影响半导体参数分析仪的测量性能。 |
| 8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入 |
支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表，并留出 4 路 BNC 输入用于未来扩展； |
| 14 条可同时使用的内部路径 |
使您能够同时使用全部 8 路三轴输入和全部 6 路 BNC 输入。 |
| 电容测量补偿特性 |
校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差，使您可以通过开关矩阵准确测量电容。 |
| LED 显示屏和可通过键盘或可选光笔进行操控的前面板 |
通过显示矩阵继电器状态以及支持手动更改继电器状态，使您能够对测量结构进行离线调试。 |
| 30 MHz 带宽 |
您可以通过 B2201A 开关使用脉冲发生器等仪器。 |
元器件
- B2201A 14 通道低泄漏开关主机
- B2211A 14 通道低泄漏开关模块
主要技术指标
| B2201A |
| 技术指标 |
值 |
| 端口数 |
|
| I-V 端口 |
8 个三轴端口（包括 Guard 端口） |
| AUX 端口 |
6 个 BNC 端口（2 个 CV 端口） |
| 输出通道 |
可使用三轴端口（包括 Guard 端口）、x12、x24、x36 和 x48 配置 |
| 插槽数 |
4 个插槽，用于插入 48 毫米高的开关模块 |
| B2211A |
| 技术指标 |
值 |
| 最大额定电流 |
|
| I-V 端口 |
1.0 A |
| AUX 端口 |
0.5 A |
| 最大额定电压 |
|
| I-V 端口（其他通道） |
200V |
| I-V 端口（通用） |
300V |
| AUX 端口（其他通道） |
100V |
| AUX 端口（通用） |
100V |
| 通道隔离 |
|
| I-V 端口 |
5 x 10^13（欧姆） |
| AUX 端口 |
1 x 10^9（欧姆） |
| 偏置电流（补充） |
|
| I-V 端口 |
50 fA |
| IM 噪声（RMS）（补充） |
|
| I-V 端口 |
5 fA |
| 其他电容测量误差（补充） |
< ± 1 % + 0.2 pF |
| 带宽（--3 dB 时） |
30 MHz |
| 稳定时间（补充） |
2.0 秒（300 fA 时） |
相关安捷伦产品
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